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CATS
マスクデータ・プレパレーションのテクノロジをリード
CATS®は、IC、MEMS、TFT-LCD、TFH、フォトニクス、バイオチップなどの製品のパターンの生成と製造に使用する複雑な設計データを電子ビームおよびレーザー機器向けのマシン語命令に変換する、拡張性と柔軟性に優れたソフトウェア・アプリケーションです。
CATSは、実質的に世界中の全てのフォトマスク製造施設に導入されており、マスク製造、検査、測長、およびウェハーへの直描におけるデファクト・スタンダードとなっています。
アプリケーション
- 基本、および高度な変換
CATSの変換機能は、様々なマスク描画機や検査機の差異に伴う課題に取り組んでいます。
- 近接効果補正
CATSは、電子ビームや光の近接効果の補正を提供します。
- ジョブデックの操作
高性能で高度な対話型で、マスクおよびパターンをサポートします。
- 製造ルール・チェック
電子ビームとレーザーの露光ツールに加え、あらゆる主要検査ツールをサポートする唯一のソフトウェア・パッケージです。
- リソグラフィ出力オプション
マスクおよび直描のための包括的なデータ・プレパレーションのソリューション
- 測長マーキング
ジョブデック情報と電子ビーム・パターン・ファイル・データを利用するCATS測長マーキング・オプションは、独自のグラフィックとコマンド駆動型環境を提供します。
- 検査データ・プレパレーション
CATSは、多種多様な電子ビーム露光装置と主要なフォトマスク検査装置の両方をサポートする唯一の市販ソフトウェア・パッケージです。
- 分散処理
CATSは、非常にスケーラブルで費用効果の高いマスク・データ・プレパレーションを提供します。